高速分析热场发射扫描电子显微镜

技术参数:
1.分辨率:1.2nm(30kV)/3.0nm(1kV)
2.加速电压:0.2KV-30kV
3.放大倍数:10-100万倍
4.大束流高分辨5nA,WD10mm,15kV时分辨率3.0nm
5.束流强度:1pA到200nA(15KV)

主要特点:
1.浸没式热场发射电子枪,束流强度最大200nA(15KV)
2.无漏磁物镜设计,便于磁性样品观测和EBSP观测不变形
3.自动光阑角控制器,无需调整光阑
4.全自动控制聚焦、合轴、消像散、控制扫描速度
5.适于配合多种分析性探头